碳化硅喷淋盘是一种高性能、高耐温、高硬度和高强度的材料，具有良好的耐腐蚀性和热导性，是半导体晶圆刻蚀机中核心部件之一。

碳化硅喷淋盘因为碳化硅材质的硬度高，属于高硬脆性材料。加工孔径小，且深倍孔径（高达10+），其钻削加工难度极高。加工过程中容易产生崩缺，刀具寿命短，刀具易断入孔内的情况。业内高度依赖进口刀具。

为打破这一垄断格局，实现同类产品的高端刀具国产化，bat365官方网站登录推出全新WZ-X系列PCD微钻产品。刀具采用特殊结构设计，对比通用标准的PCD结构，可为客户带来更加高效、稳定、可靠的微孔加工效果。